渦輪分子泵的使用條件和維護(hù)方法
發(fā)布時(shí)間：2015年08月12日 10:55 閱讀：8901
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澤德
渦輪分子泵一般與離子泵、升華泵或低溫冷凝泵組合使用，用以排除泵不易排除的氫、氦和其他惰性氣體，避免造成不必要的浪費(fèi)，不會(huì)單獨(dú)在小流量大抽速的情況下使用渦輪分子泵。
1.渦輪分子泵的運(yùn)用性能與前級(jí)泵的關(guān)系
當(dāng)氣體分子在渦輪葉片間的平均自由程減小到葉片間距的十分之一時(shí)，分子間的碰撞過多，使氣體的傳輸受到影響。一般來說，高真空入口端的渦輪葉片由于工作在較低的壓強(qiáng)，不會(huì)遇到這種情況，但是靠近出口端的葉片就經(jīng)常處于這種過渡流的范圍內(nèi)。為了改善渦輪分子泵的運(yùn)用，出口端須配置一個(gè)工作壓強(qiáng)能到達(dá)10-4托抽速較大的前級(jí)泵。
2.防止渦輪分子泵返油
為防止渦輪分子泵本身以及前級(jí)泵的油蒸氣進(jìn)入渦輪分子泵的高真空端。
開機(jī)前先用前級(jí)泵抽至2托，然后再啟動(dòng)渦輪分子泵。停機(jī)時(shí)，從它的入口端漏入空氣達(dá)到5托的壓強(qiáng)，待渦輪分子泵停止轉(zhuǎn)動(dòng)后再關(guān)閉它的出口閥門和機(jī)械泵，同時(shí)令渦輪分子泵內(nèi)的壓強(qiáng)上升至大氣壓以減少軸承滑潤(rùn)油的反擴(kuò)散。或者是渦輪分子泵與前級(jí)泵同時(shí)停機(jī)，關(guān)閉它們中間的閥門，待渦輪分子泵停止轉(zhuǎn)動(dòng)后，從高真空端(或從泵的中部)漏入空氣至大氣壓。
在渦輪分子泵運(yùn)行中，不要在關(guān)閉它的出口閥的情況下漏入氣體使泵內(nèi)壓強(qiáng)突然上升至10托以上。否則氣體將被壓至出口端，因沒有出路而反射，一部分進(jìn)入軸承滑潤(rùn)部分把油卷出帶到泵內(nèi)并進(jìn)入高真空端造成嚴(yán)重返油。
在渦輪分子泵與前級(jí)泵之間可串入一只擋油阱以防止機(jī)械泵油蒸氣的返流。
立式渦輪分子泵的真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，在改裝舊有擴(kuò)散泵系統(tǒng)時(shí)可直接替代擴(kuò)散泵而無須改動(dòng)真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)；其次是泵內(nèi)只有一組渦輪葉片，因而價(jià)格較低廉。
3.立式渦輪分子泵的缺點(diǎn)：
(1)泵口垂直向上，各種雜物顆粒容易落入泵體內(nèi)造成損壞，因不能確定保護(hù)網(wǎng)眼能夠小到何種微小顆粒都不能通過，所以在泵口加保護(hù)網(wǎng)仍不能完全幸免。
(2)當(dāng)泵內(nèi)壓強(qiáng)突然上升至大氣壓強(qiáng)時(shí)，軸向會(huì)經(jīng)受很大的沖力。
(3)在一般的立式泵中，轉(zhuǎn)子的質(zhì)心并不處于兩個(gè)軸承的中間，而是靠近一個(gè)軸承甚或跑到兩個(gè)軸承之外，軸承、支撐和整個(gè)轉(zhuǎn)子的平衡條件稍稍改變，就容易產(chǎn)生振動(dòng)。這種情形容易產(chǎn)生不穩(wěn)定。
(4)中心軸承的替換很困難，為此必須取出整個(gè)轉(zhuǎn)子并拆開，同時(shí)替換的軸承不一定能夠與轉(zhuǎn)子的自然旋轉(zhuǎn)中心相吻合，這樣就產(chǎn)生了不平衡。
臥式泵能克服立式分子泵的基本缺點(diǎn)。但臥式泵有兩組渦輪葉片，體積大，外殼形狀復(fù)雜，因而造價(jià)也較高。
4.渦輪分子泵的烘烤去氣
由于渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子是鋁合金制的，只能承受140℃的溫度，其中的滑潤(rùn)油不到80℃時(shí)就開始分解，因此規(guī)定渦輪分子泵的烘烤溫度不得超過120℃。在外殼和定子的溫度達(dá)到120℃時(shí)，轉(zhuǎn)子被流動(dòng)的滑潤(rùn)劑冷卻，實(shí)際的溫升較小。若要繼續(xù)升高轉(zhuǎn)子的烘烤溫度，可停止冷劑的流動(dòng)或使用其他方法加熱，但是要密切監(jiān)視轉(zhuǎn)子的溫度。
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